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钌及钌合金靶常通过真空溅射形成薄膜 ,作为半导体和数据存储层膜层 。

元素符号:Ru
纯度:3N+
形状:平面靶
外观:银灰色金属
典范密度:12.33g/cm3(100Ru)
通例尺寸:Φ165 mm
其它尺寸可定制


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