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Ruthenium (Ru) & Ru alloys target is sputtered to form thin films which could be used as layers for semiconductors and data storage.

Symbol:Ru
Purity:3N+
Form:Planar
Color / Appearance:Silver grey, metallic
Typical Density:12.33g/cm?(100Ru)
Typical Dimension :Φ165 mm
Other dimensions available


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